Азотен трифлуорид (NF3) газ с висока чистота
Основна информация
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Какъв е този материал?
Азотният трифлуорид (NF3) е газ без цвят и мирис при стайна температура и атмосферно налягане. Може да се втечни при умерено налягане. NF3 е стабилен при нормални условия и не се разлага лесно. Въпреки това, той може да се разложи, когато е изложен на високи температури или в присъствието на определени катализатори. NF3 има висок потенциал за глобално затопляне (GWP), когато бъде изпуснат в атмосферата.
Къде да използвате този материал?
Почистващ агент в електронната индустрия: NF3 се използва широко като почистващ агент за отстраняване на остатъчни замърсители, като оксиди, от повърхностите на полупроводници, плазмени дисплеи (PDP) и други електронни компоненти. Той може ефективно да почисти тези повърхности, без да ги повреди.
Офортващ газ при производството на полупроводници: NF3 се използва като ецващ газ в производствения процес на полупроводници. Той е особено ефективен при ецване на силициев диоксид (SiO2) и силициев нитрид (Si3N4), които са обичайни материали, използвани при производството на интегрални схеми.
Производство на флуорни съединения с висока чистота: NF3 е ценен източник на флуор за производството на различни флуорсъдържащи съединения. Използва се като прекурсор в производството на флуорополимери, флуоровъглероди и специални химикали.
Генериране на плазма в производството на дисплеи с плосък панел: NF3 се използва заедно с други газове за създаване на плазма в производството на дисплеи с плосък панел, като дисплеи с течни кристали (LCD) и PDP. Плазмата е от съществено значение в процесите на отлагане и ецване по време на производството на панели.
Имайте предвид, че специфичните приложения и разпоредби за използването на този материал/продукт може да варират в зависимост от страната, индустрията и целта. Винаги следвайте указанията за безопасност и се консултирайте с експерт, преди да използвате този материал/продукт за каквото и да е приложение.
